净化车间施工过程中需要注意的方面：
1、首先确认施工工程的设计图纸和要求，形成合理的方案。各个部门之间要相互沟通，研究作业过程中必须注意的事项。
2、检查施工过程中所有的用的材料，设备是否达到所需要的标准，检查合格后方可使用。
3、施工过程中注意施工进度及质量，施工检查记录表和施工验收记录应及时填写，文件与工程要同步。
4、净化车间施工过程要有先后顺序，可以同时施工但是要注意彼此之间的关系，不能有什么材料就先施工那部分。
6、所有的材料应该有防雨雪等措施，防止材料氧化腐朽，重要的器材要设置专门的保护区。
5、严格执行施工管理制度，现场要做好安全防护以及所有施工人员的安全培训。
6、节能环保，在净化车间施工过程中，运输、储存、施工过程中，禁止严禁污染环境。
无尘车间生产对于湿度控制是非常重要的条件之一，无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件是相对湿度。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%的范围内。
无尘室在安装管道和线路的时候，如果需要焊接作业，应该准备好消防灭火设备和石棉板等，发生危险情况，可以及时处理。在安装管道和线路要严格安装规范进行施工，安装后还需要测试安装质量，一般是使用水压进行试验，如果不允许使用水压进行测试，可以采用气压进行测量，也应该做好安全防护工作。如果和原有管道进行连接，先要了解管道的特性，安装工作应该由专业的施工人员进行操作，并配备消防灭火器材。如果管道输送的是高纯度的气体和液体，严格按照规范进行施工外，还需要对管道进行清洗、吹扫后对纯度进行测试。
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